超薄Ptsi膜相关论文
膜厚制约着PtSi红外探测器的量子效率。本文介绍了一种根据固相反应理论 ,在 1 0 - 4 Pa量级真空度条件下 ,采用真空退火、化学腐......
PtSi红外探测器用于红外探测具有极大优势，典型的应用主要是红外成象制导领域。其探测器量子效率、均匀性、可靠性很大程度上取决于......
常规方法测试超薄膜的厚度存在很大困难。介绍一种测试约4nm PtSi厚度的电阻率法。先制备厚度约40nm的薄膜,测试出薄膜电阻率,再考......
