超薄TiN薄膜电极相关硕士博士期刊学术论文

化学计量比接近1∶1的TiN薄膜制备工艺简单，价格低廉，具有良好的导电性和较大的功函数(～4.7eV)，因此成为当前微电子工业中的主流电极材......