超高真空化学气相沉积系统相关论文
利用超高真空化学气相沉积系统采用低温-高温两步法外延Ge材料。我们先在低温下生长硅锗作为过渡缓冲层利用其界面应力限制位错的......
随着无线通信和光纤通信技术的发展与融合,对组成通信系统的光电子器件性能和成本的要求日益提高。传统的Si材料器件以其成熟的工......