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针对微尺度下构件的力学性能测量问题,搭建一种片外驱动微拉伸测试装置。该测试装置具有高精度的力载荷与位移检测能力,精度分别达毫......
期刊
微拉伸测试
轴向对准
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单晶硅
micro-- tensile testing
axial alignment
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微构件拉伸测试技术及其力学性能研究
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学位
微拉伸测试
轴向对准
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