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扫描探针显微镜中压电执行器回滞非线性软计算建模及其实时补偿
本文提出了自适应范围DNA(Adaptive Range DNA,简称ARDNA)软计算模型框架以及扫描探针显微镜(简称SPM)中压电执行器回滞非线性ARDN......
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