本文研究了ＰＥＣＶＤ抗反射膜ＳｉＮ的热退火特性，测量结果表明，经过制备ＧａＡｓ透射光阴极的热压粘结工艺的热退火处理，ＳｉＮ薄膜的折射率增加了约０．１，薄膜厚度减少了......