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透镜支撑结构相关论文
光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析
光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为实现透镜面形精度均方根(RMS)值优于2nm的高精度指标,提......
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光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS值优于1~2 nm的指标要求,本文提出了......
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