逐区显影相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

逐区显影相关论文

基于衍射波前测量的全息光栅掩模拼接误差判断研究

大口径衍射光栅在很多领域中起着至关重要的作用,特别是在高功率激光啁啾脉冲放大系统中,所需要的脉冲压缩光栅口径可达到米级。单......

学位

拼接光栅横向位移误差逐区显影槽形差异衍射波前严格耦合波

基于衍射光初相位测量的光栅曝光拼接误差检测研究

高质量大口径脉冲压缩光栅是高功率脉冲压缩系统中的重要光学元件。但其制作难度大、成本高,这些因素制约着大口径脉冲压缩光栅的......

学位

大口径光栅拼接误差逐区显影衍射光初相位严格耦合波理论

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