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高温退火过程中As压对SI-GaAs化学配比的影响
通过同步X光荧光(SXRF)成分分析,定性地研究了在0.5atm、0.6atm、0.7atm(1atm10〈’5〉≈PaAs压下1150℃进行退火处理后衬底化学配比的变化。结果表明:控制As压可以改变化学配比,在......
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配比均匀性
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公路工程压实均匀度控制分析
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