重掺相关论文
从重掺衬底硅单晶片上生长外延层的杂质来源入手,通过分析不同杂质源的控制方法,来更好地控制外延层的电阻率径向分布均匀性。对于......
多晶硅铸锭中需要用到原生多晶硅、碎片、边皮等一系列的多种硅料，而这些硅料中如果存在重掺料，会降低硅锭预期电阻率，影响硅锭品质。......
通过设计合适的温场，解决了重掺单晶生长过程的中的组分过冷和位错密度高的问题，获得了高掺杂浓度高迁移率的无位错单晶。......
半导体硅料含杂质时,其电化学势能和表面活性也随之发生变化,重掺硅料比掺杂浓度低的硅料化学电动势大,在混酸溶液中反应速率快,低......
