重掺砷硅单晶相关论文
通过拉晶热场系统、单晶炉真空系统及计算机自控参数，掺杂机构、拉晶工艺等一系列改进，在国产ＴＤＲ－６２Ｂ单晶炉上采用１２″热场成功地实现了大投料......
近年来，在微波晶体管和超大规模集成电路的研制、生产中，已经越来越多地采用在重掺衬底上外延薄层材料，如N／N~+与p／p~+外延结构。采用这......
1 半导体硅材料在国民经济中的意义rn在全球信息化和经济全球化的进程中,以通信业、计算机业、网络业、家电业为代表的信息技术,获......
重掺砷硅单晶中杂质硼含量的控制是十分关键的,因无法用常规的红外光谱法测试,于是转而使用二次离子质谱法来测试. 虽然二次离子发......
