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外延用300mm重掺B Si衬底中热致微缺陷研究
研究了重掺B对300mm直拉si衬底中热致微缺陷的影响。通过800℃/4—16h+1100℃/16h的低.高两步退火处理发现,与普通(CZ)si片相比,重掺B(HBCZ)S......
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