金刚石多晶球相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

金刚石多晶球相关论文

辅助方法对热丝CVD金刚石生长速率的影响

在热丝化学气相沉积金刚石系统中,通过双灯丝间的热阴极放电产生等离子体,对衬底施加正负偏压形成电子促进,比较分析了它们及其组......

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金刚石多晶球生长速率等离子体增强偏压热丝化学气相沉积

射频放电辅助热丝CVD金刚石生长速率的研究

在传统的HFCVD系统中，引入射频电源后，通过与灯丝或者衬底的连接，组成了射频放电辅助下的四种不同沉积金刚石的生长模式。在各种生长......

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金刚石多晶球射频放电等离子体增强热丝化学气相沉积

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