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基于白光干涉的金属极薄带测厚理论与系统研究
机械精密细微加工和检测技术是国家中长期科技发展规划纲要和十一五规划中鼓励发展的先进制造技术。目前经过精密加工的1μm-100μ......
学位
白光干涉
Michelson干涉仪
时域
频域
金属箔带
串联
双路
差分
干涉谱
测厚仪
数据处理
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