采用快电子和重粒子(N2+,N+,Nf)混合的Monte-Carlo模型,计算了氮直流辉光放电等离子体辅助的金属表面氮化过程中,原子态粒子(N+,N)......

采用快电子和重粒子(N2+,N+,Nf)混合的Monte-Carlo模型,研究了氮直流辉光放电等离子体金属表面氮化过程中.e--N2s及N2+-N2s两种碰......