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金-半欧姆接触相关论文
低温CMOS-器件物理和互连特性
本文概述低温CMOS的器件物理及其中的互连特性。详细分析了MOS结构中载流的冻析效应,低温迁移率和漂移速度,并讨论了MOS器件的低温阈值特性。对......
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低温
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散射
多晶硅栅
金-半欧姆接触
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