针孔衍射相关论文
针孔作为点衍射干涉仪中的关键元件,针孔的制作精度将会严重影响干涉仪的检测精度。对于大多数衍射问题,标量衍射理论是一种比较好......
光刻机是极大规模集成电路制造工艺中的核心设备。光刻机投影物镜波像差是影响光刻机成像质量、光刻分辨率和关键尺寸均匀性的重要......
在高精度的光学加工和装调过程中,相应的高精度检测技术具有着重要的辅助和保障作用。在众多的光学检测方法中,点衍射干涉检测技术......
