采用Ｘｅ＾＋（３００ＫｅＶ）和Ａｒ＾＋（９０－１２０ＫｅＶ）离子束，在室温下轰击双层型及多层膜样品，离子注量范围为１×１０＾１５－１×１０＾２７ｃｍ＾－２。用俄歇电子能谱，Ｘ射线光电子能谱及卢瑟福背散射法分析成......