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钴插塞阻挡层相关论文
集成电路钴插塞阻挡屋CMP去除速率选择性的研究
近几年来,随着极大规模集成电路的飞速发展,工艺技术节点降至7 nm及以下,集成电路制造工艺越来越复杂。传统的插塞金属钨由于其沉......
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