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铟锡氧化物导电薄膜相关论文
ITO透明导电薄膜的制备工艺与性能研究
铟锡氧化物(ITO)透明导电薄膜是目前应用最为广泛的n型透明导电氧化物(TCOs),它一直是材料和电子领域的热点之一。靶材是制备薄膜的......
学位
铟锡氧化物导电薄膜
制备工艺
射频磁控溅射
真空退火处理
光电性能
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