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SiGe沟道SOI CMOS的设计及模拟
在SOI(Silicon on In sulator)结构硅膜上面生长一层SiGe合金,采用类似SOI CMOS工艺制作成具有 SiGe沟道的SOI CMOS集成电路.该电......
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CMOS集成电路
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锗—硅沟道SOI互补金属—氧化物—半导体
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SiGe alloy
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