锗晶片相关论文
针对锗晶片磨削工艺中使用的#4000砂轮,进行了不同磨削砂轮粘结剂配比对锗晶片表面粗糙度影响的试验,并对晶片磨削原理进行了简要......
在不同条件下(不同助剂比例和不同研磨液浓度),通过对锗化学机械抛光速率变化的研究,探讨了锗片在SiO2胶体磨料与H2O2混合液加抛光......
分析了不同抛光条件下,Ge双面抛光片的表面状况,通过抛光压力、抛光液中氧化剂的比例、抛光机转速和转速比等条件的改变,阐述了这......