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基于有限元仿真研究了方环和圆环形谐振器的静态位移点,并分析了支撑轴位置对谐振器性能的影响,提出了优化设计方案:对于方环形谐......
方块谐振器的品质因数（Q）很高，但是插入损耗也很大。为了得到低相噪的微机电系统（MEMS）振荡器，需要进一步提高方块谐振器的 Q值，降低谐振......
微机械谐振器是基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)技术设计和制造的一种声学谐振器,相较于传统的电学谐振器,其尺寸可以......
射频微机电（RF MEMS）谐振器以其体积小、功耗低、抗震性能好、Q值高以及与IC(集成电路)工艺兼容的优势成为极具潜力的晶体谐振器替代......
增强MEMS谐振器的性能是设计MEMS谐振器的主要目标。为了衡量谐振器的性能,可以用一系列的性能参来表征MEMS谐振器性能,包括谐振频......
近几十年来,微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技术在音频、传感器、无线通信和微能源采集等领域展现出了广阔的......
随着电子系统对器件高性能、小型化需求的逐步提高,MEMS谐振器凭借其高Q值、易集成、抗冲击等优势被推上舞台。由于MEMS谐振器的制......
