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间隙锌原子相关论文
反应磁控溅射ZnO薄膜的高温退火研究
ZnO薄膜足一种新型的Ⅱ-Ⅵ族直接能带化合物半导体材料,有可能实现短波长的探测器,LED和D等光电子器件.用磁控溅射法在硅衬底上生......
期刊
反应磁控溅射
ZNO薄膜
高温退火
应力转变
间隙锌原子
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氧化锌
半导体
ZnO thin films
DC reactive magnetron sp
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