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光学膜层激光损伤阈值均匀性的实验研究
镀制了多种氧化物介质薄膜.用R-on-1方法测定了膜层的激光损伤阈值.引入数据处理方法,对测试数据进行分析.结果表明,基片清洗后,若......
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氧化物介质
镀膜
损伤阈值
阈值均匀性
Cleaning procedureFilmsDamage thresholdThreshold uniformity.
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