阴极溅镀相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

阴极溅镀相关论文

高纯铝的应用

高纯铝主要应用于半导体工业，约占95％。铝的最低纯度为99．999％，每种杂质的最大含量0.4ppb（十亿分之）。阴极溅镀靶在工业生产中，尤其是芯片......

期刊

高纯铝应用工业生产阴极溅镀芯片制造半导体工业世界市场低纯度

Me—DLC膜的开发

0 前言关于Me-DLC/DLC膜,在其实用时,充分把握膜的特性,结合配对材料和周围环境及使用条件进行设计,使得对适当的材料、适当的场合......

期刊

Me-DLC膜表面改性镀膜阴极溅镀成膜工艺

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