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阻尼耗散机理相关论文
微机械谐振器动态特性与阻尼耗散机理研究
微谐振器件是微机电(MEMS)领域应用最广泛的器件之一,也是研究最多的器件。结构从最初的微梁发展到最近的微盘和微体,谐振频率不断被提......
学位
静电驱动
微谐振器
动态特性
阻尼耗散机理
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