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硅基光子晶体热释电红外传感器衬底的研制
在借助光刻等微电子工艺手段的基础上,通过控制交替变换的阳极氧化电流成功地制备出了阵列化的多孔硅一维光子晶体,然后在其表面沉......
期刊
一维光子晶体
阵列化
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隔热衬底
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反射性能
多孔硅
光子禁带
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