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集成双光栅干涉法相关论文

集成双光栅干涉微梁位移测量方法

介绍了一种基于集成双光栅干涉和CCD图像测量的微梁位移测量方法,并利用相位差约为π/2的一组光栅实现了扩量程位移检测。利用表面......

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位移测量集成双光栅干涉法图像测量微悬臂梁扩量程 displacement measurement integrated dual grating in

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