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水热法制备氧化锌纳米线场发射特性优化及集成微加工工艺研究
水热法制备ZnO纳米线的场发射特性研究是目前真空微纳电子领域的一个热点课题。主要原因之一是采用水热法可以在玻璃和金属等不同......
学位
带控制栅极场发射器件
氧化锌纳米线
场致电子发射
水热法
集成微加工
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