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高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术
本文在分析、测试多晶硅高温压力传感器温度特性的基础上,提出了一种新的改善传感器温度特性的措施.通过在压力传感器芯片上集成低......
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温度特性
多晶硅高温压力传感器
零位失调
灵敏度
温度补偿
High|temperature polysilicon pressure sensor
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