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氧化锌透明导电薄膜由于在光学器件、透明导电电极以及太阳能电池薄膜潜在的应用而越来越引起重视。本文通过气溶胶辅助化学气相沉......
学位
AACVD
Al、N掺杂ZnO
双源
雾化间隔
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