静电微执行器相关论文
微执行器作为微机械系统的核心部分,它可用于提供微机械系统所需动力,也可成为微机械系统的操作和执行单元。其中,静电微执行器是微执......
本文先讨论了基于静电驱动的平行板式微执行器在忽略边缘效应下的静态吸合现象,之后在前面研究的基础上,进一步分析了该微执行器在......
本文基于穿孔板静电微执行器的基本模型,在忽略和考虑压膜阻尼效应的两种情况下,采用能量法推导了静电微执行器的动态Pull-in参数......
为研究静电执行器的动态性能,本文建立非线性系统静电执行器的数学模型,并在系统静态工作点进行局部线性化。设计静电执行器的Simuli......
在MEMS静电执行器设计中,由于吸合效应的存在,导致微执行器调节范围受到限制。首先,对微执行器吸合效应产生的原因及其影响进行了......