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静电激振台相关论文
用于电容式传感器的静电激振台的研究
提出了用静电力激振法确定电容式加速度传感器的动态特性 ,并分析了其静电力的非线性、频率误差及补偿传感器本身寄生电容的方法。......
期刊
静电激振台
电容式传感器
动态特性
加速度传感器
静电力
Electrostatic ExcitationCapacitance Acceleration Se
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