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静电负刚度调谐加速度计相关论文
静电负刚度调谐加速度计的力平衡闭环检测控制方法
静电负刚度调谐加速度计(EFMA)在设计原理上具有兼顾电容式加速度计和谐振式加速度计相关优点的潜力。然而由于静电刚度对应的极板......
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静电负刚度调谐加速度计
闭环检测
力平衡控制
标度因数非线性
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