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非平面沟道相关论文
高性能非平面沟道场效应晶体管
半导体器件的高速化、集成化要求其特征尺寸不断缩小,不可避免地导致短沟道效应,从而使得器件性能退化。提出了一种非平面沟道晶体管......
期刊
短沟道效应
场效应晶体管
非平面沟道
阈值电压
亚阈值特性
short-channel effect
field effect transistor
no
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