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非晶硅多层膜中氢的核反应分析研究
利用6.42 MeV 窄共振核反应~1H(~(19)F,αγ)~(16)O 研究了辉光放电制备的非晶硅多层膜中氢的深度分布、游动性及其随退火温度的关......
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