非晶硅孕育层相关硕士博士期刊学术论文

非晶硅孕育层相关论文

采用催化化学气相沉积法（Cat-CVD）制备多晶硅（p-Si）薄膜的初期会形成一层比较厚的非晶硅（a-Si）孕育层。这层孕育层作为p-Si的前驱生长物，......

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