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非晶铟锌氧相关论文
紫外激光辐照对非晶IZO薄膜电学性质影响
为了降低溶胶凝胶法制备透明导电薄膜的热退火温度,将溶胶凝胶法与深紫外激光处理相结合,在石英玻璃衬底上制备了非晶铟锌氧(InZnO、I......
期刊
透明导电薄膜
溶胶凝胶法
非晶铟锌氧
深紫外激光辐照
掺氮非晶氧化物半导体薄膜晶体管物理机理及制备工艺的研究
非晶氧化物半导体(AOS),包括非晶铟镓锌氧(a-IGZO)、非晶铟锌氧(a-IZO)等,有望取代传统的硅基半导体而成为新一代薄膜晶体管(TFT)的沟道层......
学位
薄膜晶体管
掺氮工艺
非晶氧化物半导体
非晶铟镓锌氧
非晶铟锌氧
双层沟道
钼锌氧化物
铝锰锌氧化物
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