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大口径平面和非球面光学表面的纳米和纳弧度精度的测量——长行程外形仪的原理应用和发展
由于同步辐射光学发展的需要,发展了长行程外形仪。长行程外形仪是一个可以达到纳米和纳弧度灵敏度和精度的小角度和表面外形的测......
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