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非破坏性XPS深度剖析相关论文

XPS在测量薄膜样品中的应用：一种非破坏性XPS深度剖析测量

通过改变ＸＰＳ探测掠角，对硅表面氧化层和富锗氧化硅表层薄膜样品进行非破生深度剖析测量，得到了有意义的结果。本文详细介绍了这一原理，并......

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非破坏性XPS深度剖析氧化硅富锗氧化硅 non-destructive depth profiling thin film silica germanium

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