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非线性串联共振相关论文
容性耦合等离子体的电磁效应及相关问题的理论研究和数值模拟
容性耦合等离子体(capacitively coupled plasma,CCP)源被广泛地应用于材料刻蚀和薄膜沉积等半导体制造工艺中。在CCP中,较高频率......
学位
电磁传输线模型
PIC/MCC模拟
电磁效应
非线性串联共振
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