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靶基相对位置相关论文
靶基相对位置对C/Cr复合镀层性能和组织结构的影响
闭合场非平衡磁控溅射镀膜设备真空腔尺寸较大,工位很有可能显著影响镀层的质量。目前,有关这方面的研究主要集中在工位对镀层厚度......
学位
非平衡磁控溅射
C/Cr复合镀层
靶基相对位置
性能和组织结构
影响机理
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