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靶材刻蚀区偏移相关论文
磁控溅射阴极靶的故障与处理
对磁控溅射生产热反射镀膜玻璃过程中,关键部件阴极靶容易出现的阴极辉光放电的异常及靶材刻蚀区的偏移等问题进行了分析,并提出了......
期刊
磁控溅射镀膜玻璃
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阴极辉光放电异常
靶材刻蚀区偏移
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