靶电源相关论文
阐述了三靶真空镀膜机靶电源模糊控制系统,介绍了该系统的控制策略,由PLC的程序实现靶电流闭环模糊控制的硬件电路和相应的工艺运......
近几年来，随着国家经济突飞猛进地发展，人民生活水平日益提高，环境问题越来越严重，特别是近两年各个大城市的雾霾问题越来越得到了大家......
