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阴极弧离子镀颗粒抑制行为及其膜性能的研究
用国产AIP-01型多弧离子镀膜机,通过改变脉冲偏压的占空比和在靶前加不锈钢圈和磁铁,在高速钢、硅片以及硬质合金基体上沉积了TiN薄......
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TiN薄膜
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