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电子束零宽度线曝光及其应用
为了提高电子束光刻的图形质量及光刻分辨率,从入射束能和束流密度等方面探讨了克服邻近效应影响的途径,在制备亚30 nm结构图形时......
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电子束光刻(EBL)
邻近效应
高分辨率光刻
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