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基于FOTURAN②Ⅱ型光敏玻璃基板,研究曝光烧结腐蚀、激光诱导腐蚀和激光诱导烧结腐蚀三种高深径比微孔制作技术,分别从微孔的圆度、......
超短脉冲激光具有超高的峰值功率密度与极短的时间弛豫尺度,可以在高透过率的透明材料中诱导非线性吸收效应,从而有效地在材料内部......
开展了高阻半导体硅深小孔放电加工试验研究,通过在工件硅上附加机械振动,研究振幅和频率对其放电穿孔加工效率的影响规律。试验表......
在精密制造中,微孔作为一种常见结构,广泛应用于航空、生物、化工、新能源等领域。但随着国家重大战略需求应用中不断攀升的制造要......
利用改进的双温模型理论,表征了多脉冲飞秒激光对厚的金属铝的烧蚀情况,并在实验上予以验证。用有限差分法对飞秒激光在金属铝表面......
过去二十年以来,由于飞秒激光与材料相互作用有着能量快速沉积和减小不必要的热损伤区域等优点,飞秒激光烧蚀深小孔加工得到了人们......