过渡金属氧化物二氧化钒(VO2)在温度340K附近会发生金属-绝缘体的转变(Metal-Insulator Transition MIT).在发生MIT的同时,材料的......

研究了硅片高温氢气退火的工艺技术,实验显示,在高温1150℃,在高纯氢气氛中退火处理至少60min,在硅片表面产生约50μm以上的洁净层......