文章系统阐述了高Ｔｃ ｂｏｌｏｍｅｔｅｒ的工作原理及性能优势；简要介绍了采用负胶光刻和湿法（化学）刻蚀技术在５×１０ｍｍ＾２ＧｄＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ薄膜上制备２×２阵列高Ｔｃ ｂｏｌｏｍｅｔｅｒ器件的工艺......